打破国外垄断 上海电气制成首台国产6代曝光机
2018-1-4 11:15:00发布57次查看
日前，由上海电气下属上海微电子装备（集团）股份有限公司自主研发的具有世界先进水平的首台平板显示6代投影曝光机正式发运。这对我国的平板显示制造产业及装备产业发展都有重大意义。长期以来，我国平板显示制造的中高端设备主要依靠进口，特别是投影曝光机，全球仅日本的尼康公司和佳能公司掌握了这一技术。上微公司6代投影曝光机的成功开发，将彻底打破这一现状。应用于平板显示制造的投影曝光机极为复杂。该产品需要在1500mm×1850mm的区域内制作只有五十分之一头发直径的线条，且每根线条的位置精度要控制在一百五十分之一头发直径以内。上微公司用系统工程管理思想和方法来组织推进投影曝光机项目实施，坚持用产品化、工程化思想来进行产品研发，成功突破了投影曝光机的系统多、技术复杂性强、专利壁垒多等难题，成为全球第三家具备量产6代投影曝光机能力的公司，有力提升了我国高精密零件制造能力。（电气集团）
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