k1050x等离子处理单元由固态射频发生器结合调谐电路组成，同时两种处理气体流量针阀监控，全部或部分通气口控制。
它的腔室为圆柱形，样品装载为抽屉式抽拉系统，方便使用。
真空系统为旋转机械泵或可选用膜片泵作为前级真空的涡轮分子泵。
在真空装载端口及sem/tem中特殊的清洁应用时，可方便更换抽屉式抽拉系统。
此系统通常使用氧及氩的混合气体，氧去除有机物质（碳氢化合物），氩对样品表面进行刻蚀。
应用：
● 石棉试样制备
● 有机材料微观灰化
●sem&tem中有机样品刻蚀
● 去除光刻胶及电子元件中的包胶
●塑料品的表面处理
● sem/tem中的样品夹清洗
●煤的灰化
特点：
● 固态射频发生器及调谐电路
● 全自动控制
● 抽屉式结构
● 两种处理气体
● 紧凑的台式系统
优点：
● 低温灰化过程
● 易操作
● 装/卸样品方便
● 可选择不同的混合气体
● 节省空间
● 注：我们建议使用no.2泵，
它具有“专用的油”。
技术规格
仪器尺寸：450mm w x 350mm d x 300mm h 重量：25kg
桶形工作腔室：‘pyrex’160mm l x 110mm dia.（硼硅酸盐玻璃作为标准配置）
拉出式抽屉：样品托盘为抽拉式
等离子输出：射频电源-固态150瓦射频峰值，通常操作范围在25到75 瓦 @13.56mhz.
(备注：所使用的频率为国际标准组织cispr认可的“工业”频率)
真空测量范围：完整的操作真空显示的活性计量头atm - 1x10-5mbar全刻度-通常操作真空为0.5mbar到1.0mbar
数字计时单元：99.9小时选择范围时间显示。在灰化过程结束后自动终止。
双气体流控制：双气体针阀控制，可选1或2或两种气体（校准5到 100cm3/分 空气 @ a.t.p.）
电源：230v 50hz (包括泵最大电流5 amp)；115v 60hz(包括泵最大电流10 amp)
services： process gas at nominal 5 psi, (0.33bar)
真空泵：no. 2 泵 (with a synthetic oil ''fomblin'' for oxygen orcorrosive process gases.) 2m3/hr

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