华力12英寸先进生产线建设项目 实现首台工艺设备搬入
2018-6-4 10:18:00发布60次查看
5月21日，在上海浦东新区康桥工业园南区，由华虹集团旗下上海华力集成电路制造有限公司建设和营运的12英寸先进生产线建设项目（简称“华虹六厂”）实现首台工艺设备——光刻机搬入。这一里程碑节点的实现，标志着华虹六厂从基建阶段进入工艺设备安装调试阶段。此次搬入的首台工艺设备为荷兰阿斯麦公司的NXT1980Di光刻机，是目前中国大陆集成电路生产线上最先进的浸没式光刻机。华力12英寸先进生产线建设项目是本市最大的集成电路产业投资项目，总投资387亿元人民币，将建成月产能4万片的12英寸集成电路芯片生产线，工艺覆盖28-14纳米技术节点。项目计划于2022年底建成达产。项目主要从事逻辑芯片生产，重点服务国内设计企业先进芯片的制造，并满足部分事关国家信息安全的重点芯片制造需求。项目已被列入国家《“十三五”集成电路产业重大生产力布局规划》，是国家“910工程”的子项目之一，也是“十三五”期间上海市重大产业项目和市重大工程。
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