| 加工定制否 | 材质TEOS |
| 用途半导体用 | 纯度8N |
| 物理性质无色透明液体 | 中文名正硅酸四乙酯 |
正硅酸四乙酯/ teos
名称
正硅酸四乙酯(teos)
化学式
c8h20o4si
相对分子量
208.33
cas号
78-10-4
理化性质
无色透明液体，熔点－77℃，沸点168.5℃，密度0.9346g/ml。在空气中较稳定；微溶于水，在纯水中水解缓慢；在酸或碱的存在下能加速水解作用。
主要用途
主要用于晶圆制造过程中的化学气相沉积（cvd）制程，用于生成二氧化硅和氮化硅薄膜。是半导体、分立器件、微机电系统（mems）制造所需的电子化学品。
典型应用
cvd类型
材料
apcvd
teos,o3
lpcvd
teos
pecvd
teos,o2