加工定制否	机器类型清洗机
用途工业用	原理等离子
品牌PIE	型号Tergeo
工作频率13.56MHz	工作电压220
功率175	规格套

一、tergeo系列等离子清洗机应用等离子清洗机清除样品表面的污染物，去除光阻胶：产生表面活性功能组；清洗提高材料表面亲水性及疏水性，清洗生物芯片、微流控芯片，pdms；表面活化：渲染表面的亲水性或疏水性，键合和沉积前的表面预处理表面聚合：沉积带官能分子团的聚合物，移植聚合物到活化后的材料表面；表面改性：在材料表面产生官能分子团，高分子材料表面修饰；去除表面残留微生物，医疗器械的消毒和【详细说明】二、tergeo系列等离子清洗机的特点1、13.56mhz高频射频发生器；2、7英寸触摸屏控制界面，全自动操作；3、标配75w版本，可选150w版本；4、系统具有双等离子源。浸入式等离子源用于主动表面处理、光刻胶蚀刻。远程式等离子源用于温和的污染清除以及脆弱易损样品的表面活化。三、技术参数1、控制系统1）操作界面：7英寸电阻触摸屏操作界面，支持多种工作方式。2）程序控制：可编程，总共有20个程序，每个程序有3个清洁步骤。2、反应腔体1）腔体材质：圆柱形石英玻璃舱；2）腔体容积：2.6l；3）腔体尺寸：内径：110毫米，深度：280毫米。3、射频电源1）射频频率：13.56mhz；2）射频功率：标配0~75w；从0瓦到75瓦之间以1瓦间距连续可调，可选0~150w；。4、等离子源1）等离子强度探测器实时测量等离子源强度。2）外置电极设计，高压电极不合等离子接触以避免金属溅射造成的样品污染。5、气体控制1）气路控制：标配一路mfc；可选配三路mfc；2）质量流量计可以在0~100sccm之间精确控制气体流量；3）一路(ventingandpurging)气体入口用来快速给样品室放气和冲走残余处理气体主营产品：匀胶机，旋涂仪，甩胶台，匀胶台，涂层机，涂胶机，涂膜机,旋转涂敷仪,hpc,ppc,pac，sce系列等离子清洗机，cargille光学试剂，光刻机/曝光机，压力机,压片机,热压机，wabash热压机,carver热压机,laurell匀胶机、hotplate热板烤胶机laurell匀胶机harrick等离子清洗机ndk热板烤胶机plasmaetch等离子处理系统carver手动压片机uvitron紫外固化箱novascan紫外臭氧清洗机wenesco/ems/unitemp加热板laurelledc系统，湿站系统nxq光刻机anatech等离子系统wabash/carver自动压片机公司名称:迈可诺技术有限公司 赵生 18221354817 taran_zhao@mycro.com.cn