| 加工定制否 | 类型不锈钢电热板 |
| 品牌Brother/兄弟 | 型号thisis型号 |
| 表面尺寸thisis表面尺寸mm | 常温电阻常温电阻1285Ω |
| 功率功率9272W | 主要用途主要用途4769 |
| 产品认证产品认证4879 |
产品名称:单管滑动式快速退火炉
产品型号:rk-1200t-s6015lk1-h
炉管尺寸:φ60mmx1500mm
温区长度:440mm(更多规格可按照客户要求定制)
恒温区长:260mm
工作温度:1100℃
温控系统:30段pid微电脑可编程自动控制(用户可选配液晶触摸屏显示)
温控精度:±1℃
恒温精度:±1℃
温控保护:具有超温和断偶保护功能
加热元件:合金加热丝
加热速率:0~20℃/分
炉膛材料:采用日本进口炉膛材料,不掉粉、材料保温性能好、反射率高、温场均衡,抗热涨冷缩能力强
滑轨尺寸:镀cr厚钢板做的双向滑轨滑动长度:1200mm
法兰接头:标配配有两个不锈钢真空法兰,已安装机械压力表和不锈钢截止阀。
密封系统:该炉炉管与法兰之间采用硅胶o型圈挤压密封、撤卸方便、可重复撤卸,气密性好、可保证12小时压力表指针不偏转。
炉 管:可选气炼石英炉管、刚玉炉管
净 重:80kg
提供相关配件: 气炼石英炉管、真空法兰、高温手套、坩埚钩、热电偶、刚玉坩埚、炉塞、说明是等其他配件用户可选配
电气认证:ce认证
目前,在中国微波法pecvd系统占据市场的主流,而管式pecvd系统也占据不少份额,而岛津的板式系统只有5~6条生产线在使用。直流法pecvd系统还没有进入中国市场。
除了上述几种模式的pecvd系统外,美国的applied
material公司还开发了磁控溅射pecvd系统,该系统使用磁控溅射源轰击高纯硅靶,在氨气的气氛中反应溅射,形成sinx分子沉积到样品表面。这种技术的优点是不使用易爆的硅烷气,安全性提高很多,另外沉积速率很高。
如果按照pecvd系统所使用的频率范围,又可将其分成以下几类:
■ 0 hz:直流间接法——otb公司
■ 40 khz:centrotherm公司管式直接法pecvd和applied material公司的磁控溅射系统
■ 250 khz:岛津公司的板式直接法系统
■ 440 khz:semco公司的板式直接法
■ 460 khz:centrotherm公司管式直接法
■ 13.6 mhz:semco公司和mvsystem公司的板式直接法系统
■ 2450 mhz:roth&rau公司的板式间接法系统。
操作方式
针对实验室的使用要求,装卸料采用间歇式手动装、卸料。装料时将料盒放置在料盆支架上,打开并取出炉管一端的密封端盖,放入带料盒的料盒支架,再将密封端盖安装在炉管法兰上并拧紧卡箍螺栓。然后通入工艺气氛,直到炉管内氧含量达到工艺要求时进行升温烧结。产品烧结工艺完成后,应继续通人小量的工艺气氛并进行降温,直到炉内温度低于工艺要求时,方可打开炉管密封端盖取出产品。
