在旋片真空泵使用过程中颗粒状物质和蒸气或液体构成令人讨厌的污染。
由于旋片真空泵机构本身固有的自我补偿间隙调整作用，所以它对小的机构损伤不特别敏感。在多数设计中，所选择的滑动轴承比球轴承对灰尘的敏感性小。一旦尘粒因重力而从油中分离出来，油池中就产生沉淀物，它不参入油的循环，直到被清除掉。对于这些尘粒，可以用油过溥器滤除，但实际似乎不值得。如果污染严重，过滤器的更换过于须繁，就不如换油简单。在尘粒进入泵内之前，最好将其阻止在可处理的位置处。对此，采用干式过滤器和含油捕集阱最为有效。所选择的保护方法应取决于所处理的体积、尘粒的大小和允许的压强下降。在有磨蚀尘粒的情况下，应使泵的零件表面硬度增高，以延长使用寿命。
暴露于低蒸气压下的物质并不少见。这些物质冷凝在泵中，并与润滑液混合，或使润滑液稀释，或成漆状和胶状的沉淀物。气镇方法对此无能为力。最好的办法是当这些蒸气到达旋片真空泵之前就将其挡住。但在许多场合下，这样做是不妥的，因为泵在如此宽的压强范围内工作，难以设计出有效的阱，或者由于有一定的污染物使阱的维护成为困难的问题。此时，大都采用定期换油的办法解决。
腐蚀性的污染物，特别是当其量不大时，是可以控制的。润滑油可以在大多数金属表面和腐蚀物之间起缓冲区的作用。另外，如能够防止水的凝结，其腐蚀性的危害就变得相当有限。利用干燥气体的隔离作用可有效地防止大气在分离器中的凝结。保持分离器中有略高压强的干燥气体，能杜绝环坡湿度对旋片真空泵油的影响。
溶性蒸气是指那些溶解于油中的且又能在旋片真空泵的入口侧再释放出来的很难用气镇法处理的物质。这时，最好使用双级泵。大气级的油粘度要保持在使塬能工作的程度上。用对污染不敏感的前级泵再生的油或真空蒸馏净化的油均能较好地工作。