1521l系列是采用硅技术制成的热导率计（tcg）。传感变送器芯片由2.50 3.33mm，0.3mm厚的硅边缘组成，其中形成氮化硅膜。 在中心是加热器，传感器元件测量其温度。该产品测量环境温度和介质中心之间的热导率，这取决于几个参数，如压力，气体类型和膜上的材料沉淀。 这种对物理参数的依赖允许tcg测量绝对压力，气体类型和气体混合物组成的量。1521l系列的标准外壳是to-5 10针插头，带帽，直径为5 mm，带过滤器，其他外壳可根据要求提供。1521l系列在to-5外壳上有一个b类pt100铂温度传感器，靠近芯片。 有关数据，请参见表2.1。 气体测量：测量导热系数和气体类型测量氦气，二氧化碳等在空气和其他气体中的浓度二元气体混合物组成的测量真空测量：10 mpa至10 kpa之间的真空测量密封的气体外壳泄漏 参数 典型值* 单位备注 (*为估计值)尺寸核心尺寸2.50 x 3.33 mm2芯体高度0.3 mm芯体高度误差1 μm重量0.72 g 1521l series on to-5重量 1.05 g 1521l series on to-5 + cap + filter输出真空形态0 mbar 130 v/w 按产品批次温漂因子(0 pa) -0.06 %/k常压形态100 kpa 30 v/w no upper heat sink常压形态100 kpa 6 v/w with upper heat sink at 20 μm氦气形态at 100 kpa 7 v/w空气形态, 10 mpa -13 % 和100 kpa, r-version 对比氦气形态, 10 mpa -2 % 和 100 kpa, r-version 对比稳定时间空气中 9 ms真空中36 ms稳定性瞬态10 ppm 1 天, good temp + rh stabilization长期 1200 ppm 1 年, temperature & rel. humidity correction温度阻抗 55 k rtp灵敏度温漂1.3 mv/k stp referred to temperature of heater灵敏度温漂 2.4 mv/k average seebeck coefficient 0.2 mv/k, 12 leads灵敏度温漂（百分比） 0.05 %/k加热阻抗 0.6 k rheat温漂0.1 %/k of heater resistance热敏阻抗 100 kk/w 真空输出除以灵敏度温漂因子 -0.11 %/k 真空气膜部分23 kk/w 空气温漂因子-0.08 %/k 空气最大电压uheat空气中2.5 v真空中 1 v工作环境温度 非终身质保模式下最小 -250 oc-250 to -273 oc reduced output最大 240 oc tested on similar devices, short times最大加热温度250 oc longer term no drift, absolute maximum rating1521l seriespt100 class b ± 0.3 oc error at 0 oc