1 实验室环境
环境必须无腐蚀性。
实验室温度要求在15~30℃，每小时温度变化不大于2.8℃。仪器工作温度为
22±2℃。实验室湿度应在20%~80%，无冷凝。仪器工作湿度范围为35%~50%。
放置仪器的工作台，左边、右边和后边都要留出一定空间，方便仪器散热。
实验室应该保持干净，无过多的灰尘。（每立方米的空气，大于0.5微米的灰尘
颗粒应小于36,000,000个）
实验室应无过多的震动。
2 电和排风---aa900t
电：单相220v，最大功率10100w，线径大于6平方毫米（距离远的话要求大于10
平方毫米），零地电压小于4v。如果实验室没有接地线，应另外铺设地线，严禁用
零线替代地线。供电线路上不能使用带漏电保护的空气开关。可配置10 kva的精密
稳压电源。
排风：仪器正上方15cm，进风口和原吸上方差不多，不要太大，风量400立方米/
小时。
2 电和排风---icp 200/500
电：单相220v，主机最大功率2800w，线径大于4平方毫米，零地电压小于2v。如
果实验室没有接地线，应另外铺设地线，严禁用零线替代地线。供电线路上不能使
用带漏电保护的空气开关。可配置10 kva的精密稳压电源。
排风：仪器正上方，100毫米的风口，风速9-12米/秒。
2 电和排风---icpms 1000、2000
电：单相220v，主机最大功率3200w，线径大于4平方毫米，零地电压小于4v。如
果实验室没有接地线，应另外铺设地线，严禁用零线替代地线。冷却水最大2800w，
机械泵1500w，供电线路上不能使用带漏电保护的空气开关。配置ups电源供给
主机和机械泵。
排风：仪器正上方，100毫米的风口，风速9-12米/秒
3 气体要求
氩气要求使用液态氩或高纯氩（99.996%）
氮气要求使用液态氮或高纯氮（99.999%）
为了仪器运行不应更换气瓶而中断，推荐使用两瓶或多瓶并联用气，推荐使用自
动气排。
压缩空气需经过过滤无油，无水，用量30l/min。可由空气压缩机提供或使用自
备的压缩空气。
减压阀推荐使用上海减压器厂的