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   应用简介
  可用于以三氯甲硅烷为气源的材料表面抗氧化涂层、基体改性等。
 
   技术特征：
 
◆本化学气相沉积炉采用先进的控制技术，能精密控制mts的流量和压力，炉膛内沉积气流稳定，压力波动范围小；
◆本化学气相沉积炉采用特殊结构沉积室，密封效果好，抗污染能力强； 
◆本化学气相沉积炉采用多通道沉积气路，流场均匀，无沉积死角，沉积效果好；
◆对沉积产生的高腐蚀性尾气、易燃易爆气体、固体粉尘及低熔点粘性产物能进行有效处理；
◆本化学气相沉积炉采用*设计防腐蚀真空机组，持续工作时间长，维修率极低。
 
   主要配置： ◆炉门：铰链回转式/台车平移式；手动锁紧/自动锁圈锁紧        
◆炉壳：全碳钢/内层不锈钢/全不锈钢
◆炉胆：软碳毡/软石墨毡/硬质复合毡/cfc                    
◆加热器、马弗：等静压石墨/模压三高石墨/细颗粒石墨
◆工艺气路系统：体积/质量流量计/手动阀/自动阀/进口/国产            
◆真空泵和真空计：进口/国产
◆plc：欧姆龙/西门子                                      
◆控温仪表：日本岛电/英国欧陆 
◆热电偶：c分度号/s分度号/k分度号/n分度号                    
◆记录仪：无纸记录仪/有纸记录仪；进口/国产
◆人机界面：模拟屏/触摸屏/工控机                           
◆电器元件：正泰/施耐德/西门子
◆料车：滚道式/叉车式/叠加式超长传输料车

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羊桥
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