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晋宇达(图)_厦门步进光刻机

2018-11-23 6:23:37发布36次查看ip:发布人:
     张家港晋宇达电子科技有限公司客户主要分布在北京,上海,苏州,无锡,绍兴,深圳,东莞,厦门,福州,西安等地区。
扫描步进投影曝光(scanning-stepping project printing)。90年代末~至今,用于≤0.18μm工艺。采用6英寸的掩膜板按照4:1的比例曝光,曝光区域(exposure field)26×33mm。优点:增大了每次曝光的视场;提供硅片表面不平整的补偿;提高整个硅片的尺寸均匀性。但是,同时因为需要反向运动,增加了机械系统的精度要求。
晋宇达电子是一家专门从事提供集成电路生产线关键设备        
光刻机的销售、安装、翻新、改造、再制造、备件耗材及技术咨询成套解决方案的高新技术企业。光刻机一般根据操作的简便性分为三种,手动、半自动、全自动
一般的光刻工艺要经历硅片表面清洗烘干、涂底、旋涂光刻胶、软烘、对准曝光、后烘、显影、硬烘、刻蚀等工序。
随着光刻技术的不断发展,光学光刻已从传统的g线、i线到,发展到远紫外,197nm以及157nm,设备的占用成本越来越高,而随着集成电路设计尺寸的继续缩小,更为严格的套刻指标和巨额的设备成本,混合匹配使用将成为一种必然的需要。各种混合匹配,以及光学光刻之后下一代光刻系统的混合匹配是需要不断研究的新课题。

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