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销售工程师  周先生
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hpbdvk 高压气动锁定隔膜阀
std型锁定型用于更大的输出
l 100%氦泄露测试
l 高耐腐蚀性，使用哈氏合金隔膜
l 确保产生的微粒为最小化
l 最小的湿气、氧气和氢气分流
l 激光标记型号；材质经过工厂出厂测试
l 哈氏合金 c-22能根据要求定制外形
l 100%在洁净室中电解抛光
l d.i.水处理, 100%在洁净室中装配，测试和包装
技术指标
尺寸
1/4
cv值
0.1
孔径
2.3mm
最大工作压力（g.）
 20.6mpa
最大工作温度
-10℃-80℃
操作压力（g.）
 0.4-0.7mpa
内部泄漏标准（he）            
测试压力≤1×10-2 torr        
测试时间≥30秒             
≤ 1×10-10pa·m3/s
外部泄漏标准（he）            
测试压力≤1×10-2 torr        
测试时间≥1分钟
≤1×10-10pa·m3/s
微粒检测（只用于ep）          
压力：60-80psi 气体n2              
样品流量：1cfm  0.1μm以上
计量不到
选    型
s
4
hpbdvk
vf
1t25
c
p
s-4-hpbdvk-vf-1t25-c-p
阀体材质
s
s:sus316单级；
d:sus316双级;
尺    寸
4
4：1/4″
产    品
hpbdvk
hpbdvk
连    接
vf
vf:母vcr；
选    项
 见下图
1t25
1t25; 
5t12;
1t23;
3t12;
选    项
c
c: 常闭
级    别
p　
ap：ap级；
空白：ba级；
p：ep级
其他材质
底座:pctfe ; 隔膜:哈氏合金; 手柄:铝

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