- 品牌：明微
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u v 机 特 点
适用于半导体晶圆减薄后和晶圆切割后uv膜解胶工序。
规格：6inch/8inch/12inch（型号hw-uv106/108/112)
■ 此外我们也能根据客户需求，提供非标产品.
该uv照射机时用来将切割制程中使用的uv膜的粘性减弱直至消除；
led冷光源与汞灯组成的光源相比，更能实现稳定性、均匀性的照射；
uv照射机采用的led冷光源是180度平射产品；
uv照射机采用采用扫描式平射产品，使uv膜的粘性减弱直至消除；
生产产能：60片晶圆/小时（原则上）；
小巧的桌上型系统设计；
采用液晶触摸屏一键式操作;
开启门时led冷光源是关闭状态，可以保护人体安全；
led冷光源寿命是一般汞灯寿命的十倍；
led冷光源至少可以连续工作5000h（频繁启动对冷光源*）
江苏明微电子有限公司
蒋先生
15371178646